分辨率与重复性说的不是同一件事

两个概念的分工
分辨率回答的是“能不能看出来变化”,重复性回答的是“同样的条件下结果稳不稳”。一个设备分辨率很高,但每次测量结果分散,说明重复性不好;反之重复性好但分辨率低,细微变化看不出来。
容易混淆的原因
- 参数表相邻排列,读者容易把两者当作同一类精度指标。
- 部分宣传材料用“精度高”含糊覆盖两者,掩盖了实际差别。
- 分辨率常与显示位数挂钩,而显示位数并不代表测量能力。
怎么看参数
看分辨率时确认它指的是显示分辨率、控制分辨率还是测量分辨率,三者的口径不同。看重复性时确认测试条件:同一位置、同一方向、同一速度下多次往返测量,还是包含不同方向与不同位置。
与精度的关系
分辨率是精度的前提但不是全部。评价一台设备能否满足工艺要求,应同时看分辨率、重复性与偏差,单看其中一项容易得出错误结论。
写进文件的写法
在技术要求中分别表述:分辨率给最小可分辨量并注明方向与范围;重复性给测试方法、测量次数与统计方式。两个指标都注明测试条件,验收时才有可执行的口径。